大型凸輪式傳輸矩形閥是一款專為光伏、新能源行業(yè)的真空環(huán)境制程而設計的大尺寸傳輸閥，采用凸輪驅動結構實現(xiàn)精準開閉，運動平滑且低沖擊力，性能穩(wěn)定，主要用于光伏行業(yè)大型真空腔室間的硅片等物料的傳輸。

閥門采用創(chuàng)新式單凸輪、雙彈簧結構設計以及更合理的氣路布置，可大幅減少作動時X/Y軸方向的震動，保證內(nèi)部結構的穩(wěn)定性，也降低了閥門維護周期和潛在的事故率。